本文摘要：“針對光刻機等嚴苛測量環境中構建多維度干預測量的市場需求，我們明確提出了基于棱鏡誤差矢量分析的單體構建多軸干涉儀組件設計方法，研發出有從2軸到5軸的系列化單體式多軸干涉儀組件，超越了國外企業的獨占和對我國的出口容許。

“針對光刻機等嚴苛測量環境中構建多維度干預測量的市場需求，我們明確提出了基于棱鏡誤差矢量分析的單體構建多軸干涉儀組件設計方法，研發出有從2軸到5軸的系列化單體式多軸干涉儀組件，超越了國外企業的獨占和對我國的出口容許?！?日，清華大學寬聘為教授、精密儀器系由學術委員會主任李巖告訴他記者。激光干預測量是構建超強儀器測控和微納尺度測量的最有效地手段之一。在國家根本性科技專項“近于大規模集成電路生產裝備及成套工藝”（02專項）等項目反對下，由李巖等已完成的“低GPS多軸高分辨率激光干預測量技術與儀器”項目，突破一系列關鍵技術瓶頸，構成了測量新方法、系統及儀器。

李巖講解，項目構建了從干涉儀組件、信號觀測調制到多維度觀測方案設計的全鏈條自研研發的高GPS、多軸大量程、高分辨率激光干預測量系統。截至目前，項目團隊所研發的光刻機用雙頻激光干涉儀系統，應用于到我國自研光刻機工件臺樣機研發過程中，總計應用于50余臺套，符合了光刻機雙工件臺樣機的精密測量市場需求，減低了對國外高端干涉儀的倚賴，減少了其產品對我國出口容許所導致的研發風險。李巖說道，比如項目研發的亞納米分辨率可本源外差干涉儀，應用于到激光多維測量系統研究與研發的核對測驗研究中，找到了激光多維測量系統非線性誤差原因，后用專門的電路加以校正，提升了涉及單位激光多維測量系統的性能，所明確提出的可本源干預測量新方法，為摩爾單位使用阿伏伽德羅常數新的定義做出了貢獻。

“項目的順利，超越了外國對我國高端激光干預測量儀器的容許和獨占，為我國高端裝備和儀器研發獲取性能平穩且不受限于外國的測量及本源能力，非常豐富了激光干預測量理論與技術，具備十分最重要的技術、經濟和社會效益?！崩顜r說道。